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- [实用新型]一种双列预贴膜机-CN202120517729.1有效
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唐寒风;罗浩;范志平;胡俊;符平;钟志波;王加林
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广东思沃精密机械有限公司
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2021-03-11
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2021-12-03
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H05K3/00
- 本申请提供了一种双列预贴膜机，包括机架和预贴膜机构，预贴膜机构包括第一干膜辊、第二干膜辊、贴膜盘和预贴膜驱动源；第一干膜辊和第二干膜辊相互平行并分别转动安装于机架上，第一干膜辊的外周面具有用于安装一卷干膜的第一安装位，第二干膜辊的外周面具有用于安装另一卷干膜的第二安装位，第一干膜辊上的第一安装位和第二干膜辊的第二安装位分别位于基板输送方向的左右两侧；预贴膜驱动源与贴膜盘连接并用于驱动贴膜盘移动以将贴膜盘上吸附的干膜预贴于基板本申请提供的双列预贴膜机既能够实现双列预贴膜生产模式，又能实现单列预贴膜生产模式，可以根据实际生产需要灵活地进行切换，具有更高的通用性、适应性和便利性。
- 一种双列预贴膜机
- [发明专利]贴膜机-CN201910204889.8在审
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王建勋;谢军
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广东思沃精密机械有限公司
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2019-03-18
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2020-09-25
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H01L21/67
- 本发明公开了一种贴膜机，其特征在于，包括贴膜装置、切膜装置、用于输送干膜的送膜机构、以及用于拉动干膜于贴膜装置移动至切膜装置的拉膜机构；拉膜机构包括拉膜固定座、拉膜滑动座、拉膜驱动组件、拉膜安装架、拉膜导辊、拉膜升降驱动件、以及拉膜压块。送膜机构将干膜输送至贴膜装置并位于晶圆的正上方，贴膜装置将干膜贴覆于晶圆表面使得晶圆与干膜粘接，拉膜机构将粘接有晶圆的干膜拉动至切膜装置，切膜装置沿晶圆的边界将多余的干膜切除，进而完成晶圆的贴膜，实现了干膜的自动输送、干膜的自动贴覆以及干膜的自动切割，实现了对晶圆进行贴膜处理，并将晶圆边界外的干膜切除的自动化以及连续性。
- 贴膜机
- [实用新型]定位纠偏机构及贴膜机-CN201921701229.2有效
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唐芬辉;韩七七
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广东思沃精密机械有限公司
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2019-10-11
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2020-09-29
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B29C63/02
- 本实用新型适用于自动化贴膜技术领域，提供了一种定位纠偏机构及贴膜机，该定位纠偏机构包括机架、引导架、支撑引导架的底座、驱动件和检测组件。本实用新型通过检测组件可分别检测干膜的一侧边位置和待贴膜件的对应侧边位置，当检测组件检测到的干膜与待贴膜件的侧边位置重合时，说明干膜与待贴膜件的对位效果好；当干膜与待贴膜件的侧边位置不重合时，说明干膜与待贴膜件的对位效果差此时，通过驱动件驱动引导架在底座上沿机架的宽度方向移动，进而可调整待贴膜件的位置，从而实现干膜与待贴膜件的位置纠偏。该定位纠偏机构可对干膜与待贴膜件的位置进行实时监测，并能通过驱动件调整待贴膜件的位置，进而可有效提高贴膜机的贴膜质量。
- 定位纠偏机构贴膜机
- [实用新型]具有展平辊轮的干膜贴膜机构及贴膜机-CN202122239982.8有效
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袁梓恒
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广东思沃精密机械有限公司
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2021-09-15
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2022-05-13
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B29C63/02
- 本实用新型公开了一种具有展平辊轮的干膜贴膜机构及贴膜机，包括机架、固定架、螺旋展平辊轮、贴膜组件和驱动机构，贴膜组件和螺旋展平辊轮安装于固定架上，固定架活动安装于机架上，驱动机构带动固定架相对于机架移动，以使贴膜组件干膜贴至贴膜位的物料上；螺旋展平辊轮包括转动安装于固定架上的导膜辊轮和设于导膜辊轮的轮面上的螺旋槽，螺旋槽沿导膜辊轮的轴向绕导膜辊轮的轮面盘旋设置，以对输送至贴膜位的干膜进行展平。与现有技术相比，本实用新型在贴膜组件的前侧设置一与贴膜组件随动的干膜展平轮，使得被贴膜盘吸住的干膜处于展平状态，且保证贴膜盘移动时，拉动的干膜依然处于展平状态，避免贴膜产生的褶皱和气泡，贴膜效果好。
- 具有展平辊轮干膜贴膜机构贴膜机
- [实用新型]自动张力机构及贴膜机-CN201921703388.6有效
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唐芬辉;韩七七
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广东思沃精密机械有限公司
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2019-10-11
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2020-09-04
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B65H16/00
- 本实用新型适用于贴膜机技术领域，提供了一种自动张力机构及贴膜机，该自动张力机构包括支架、用于将膜卷上的干膜拉出的送料组件和用于调节干膜张力的张力杆；张力杆转动安装于支架上，张力杆的两端分别滑动安装于支架上与现有技术相比，本实用新型通过在支架上设置送料组件和张力杆，送料组件可将膜卷上的干膜拉出并通过张力杆引导至预贴膜机构的对应位置处。当预贴膜机构将干膜抵压至待贴膜件的表面的过程中，通过张力杆在支架上的滑动以及自身转动可实现对干膜张力的自动调节。因此，通过送料组件及张力杆可避免预贴膜机构直接拉动干膜而导致干膜张力过大引起贴膜歪斜及膜皱等现象，有效提高贴膜稳定性及平稳性，提高贴膜机的贴膜质量。
- 自动张力机构贴膜机
- [发明专利]贴膜方法及贴膜机-CN201910204880.7有效
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王建勋;谢军
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广东思沃先进装备有限公司
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2019-03-18
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2023-08-18
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H01L21/67
- 本发明公开了一种贴膜方法及贴膜机。贴膜方法，包括如下步骤：将待贴膜产品放置于第二压膜台；向待贴膜产品的正上方输送干膜；第一压膜台向第二压膜台运动并与第二压膜台密封连接，且使得待贴膜产品位于第一压膜台与第二压膜台之间；抽取第一压膜台与第二压膜台之间的空气；压紧组件将待贴膜产品与干膜压紧贴合。第一压膜台与第二压膜台之间实现密封连接；抽取第一压膜台与第二压膜台之间的空气，使得第一压膜台与第二压膜台之间形成接近真空的状态；进而避免了干膜贴附于待贴膜产品后待贴膜产品与干膜之间存在气泡，提升了干膜的贴膜效果
- 方法贴膜机
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